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【科研】2021年电子显微镜(进口)环亚国际娱乐登录真人平台环亚国际娱乐登录真人平台环亚手机登录网站网址(二次环亚手机登录网站网址)(DDWK202126)

发布者:庄林林发布时间:2021-07-15浏览次数:11

(项目编号:DDWK202126

辽宁汇诚工程管理咨询有限公司受东北大学委托,对东北大学2021年电子显微镜(进口)环亚国际娱乐登录真人平台(项目编号:DDWK202126)在中华人民共和国境内进行竞争性磋商环亚国际娱乐登录真人平台,现欢迎合格的供应商参加本次政府环亚国际娱乐登录真人平台活动。

一、环亚国际娱乐登录真人平台人的环亚国际娱乐登录真人平台需求

包号

包组名称

主要技术要求

数量

01

扫描电子显微镜系统

1.安装条件

1.1电源电压单相AC100-240V1.5kVA50/60Hz

1.2独立地线接地电阻小于40欧姆

1.3实验室温度15~30℃,湿度≤60%

2.技术要求

2.1分辨率

2.1.1 SE探头分辨率:3.0nm @ 30KVWD=5mm15.0nm @ 1KVWD=5mm

2.1.2BSE探头分辨率:4.0nm @ 30KVWD=5mm6Pa

2.2放大倍数: 5-300,000x(底片倍率),7-800,000x(显示倍率)

2.3电子光学系统

2.3.1电子枪:预对中钨灯丝

2.3.2电子枪偏压:全比例自动偏压,IFT灯丝状态监控(可显示灯丝剩余寿命状态)

2.3.3加速电压:0.3-30kV

2.3.4电子束对中:2级电磁偏转线圈

2.3.5透镜:3级电磁透镜

2.3.6扫描线圈:2级电磁偏转线圈

2.3.7物镜光阑:3孔可变物镜光阑

2.3.8 聚光镜光阑:长内衬管设计,用户可自行更换

2.3.9电子束偏移:±75μmWD=10mm

2.3.10能谱工作条件:WD=10mmTOA=35°

2.3.11探测器:二次电子探测器,4分割背散射电子探测器(具有成分、阴影、凹凸多种成像模式,可扩展实现3D成像),可变压力探测器UVDUVD探头可以在高低真空下使用,低真空下观察不导电或含水样品的形貌,高真下可以接收光信号(CL)。

2.4样品台

2.4.1五轴优中心样品台

2.4.2移动范围:X=0-100mmY=0-50mmZ=5-65mmT=-20°~90°,R=360°

 2.4.3导航视野:直径125mm

2.4.4最大样品尺寸:直径200mm,高度80mmWD=10mm

 2.4.5相机导航:SEM-MAP,光镜和电镜图片可叠加

2.5真空系统

2.5.1控制方式:全自动气动阀控制

2.5.2真空规:皮拉尼规

2.5.3真空度:1.5x10-3Pa

2.5.4低真空:6-600Pa,标配压差光阑,一键切换

2.5.5真空泵:分子泵(260L/s),机械泵(135L/min@50Hz162L/min@60Hz

2.6控制系统

2.6.1电脑:Intel(R) Core(TM) i3-8100   (3.6GHz, 4core, 6MB, 2400MHz)16GB DDR-4   SDRAM(2666MHz, ECC, 8GBx2)IntelHD Graphics 630

2.6.2显示器:23寸全高清液晶显示器,分辨率1920x1080

2.6.3操作系统:Windows 10 Pro64bitEnglish

2.6.4控制方式:轨迹球,旋钮版,鼠标,键盘

2.6.5非接触报警装置:通过输入的样品尺寸数据,自动避免样品台的危险操作。

2.7图像功能

2.7.1图像显示模式:全屏(1280x960),双屏(640x480x2

2.7.2扫描模式:快扫,慢扫(6级),CSS扫描(6级),Reduce扫描(2级)

2.7.3图像捕捉:高分辨捕捉,积分捕捉,CSS捕捉

2.7.4图像存储像素:640 x 480,1,280 x 960,2,560   x 1,920,5,120 x 3,840

2.7.5图像存储格式:BMPTIFFJPEG

2.7.6自动调整功能:自动亮度对比度,自动对焦,自动消像散,自动灯丝饱和,自动电子束对中,自动束流对中,自动束流亮度,自动开启

2.7.7信号/图像处理:信号混合,实时图像处理(伽马值,亮度,对比度)

2.7.8其他功能:图像旋转,动态对焦,倾斜补偿,图像叠加,报告导出

2.8 溅射仪:

2.8.1原装进口,与电镜主机同品牌

2.8.2样品仓大小:硼硅酸盐玻璃工作腔室,100mm(内径)x 125mm(高);

2.8.3靶面至样品台距离:可调范围为20-50mm

2.8.4溅射电流和时间:0-40mA 0~999s

2.8.5溅射速率:(在压力为7Pa,放电电流40mA,靶材距离样品30mm时)Pt15nm/minPt-Pd20nm/min

2.8.6最大样品尺寸:直径60mm,高度20mm

靶材:根据需要,可选配AuPtAu-PdPt-Pd

真空系统:机械泵,转速为135L/min

主机尺寸和重量:450mm×391mm×390mm,主机重25kg

2.9样品前处理体式显微镜

2.9.1整机:原装进口研究级电动体视显微镜,电动控制显微镜变倍、聚焦;软件可控制所有电动部件和摄像头,并显示和记录设备所有参数。

2.9.2光学系统:平行光学变焦系统和全复消色差光学系统。

2.9.3电动变焦主体:变焦比251,变焦范围: 0.63X-15.75X, 综合放大倍数6.3X~157.5X

2.9.4目镜:10倍、双目屈光度可调,三目镜筒为铰链式,眼距可调

2.9.5物镜:超高分辨全复消色差Apo物镜,采用全复消色差自由校正光路,校正范围横跨380nm-700nm。最大视野∮70mm,分辨率可达1100线/mm。物镜参数同时满足如下要求:1X超高分辨全复消色差Apo物镜,数值孔径0.156,工作距离60mm.

2.9.6电动调焦:调焦行程100mm,从物镜齐焦点开始向上96mm,向下4mm;调焦精度:粗调、微调、极微调三种调焦精度。

2.9.7平板底座及移动载物台:搭配移动载物台,行程:75x50mm

2.9.8照明冷光源:双支分叉光纤LED照明冷光源,可进行任意角度照射。

2.9.9彩色数码摄像装置:专业级1200万像素显数码彩色摄像头,直接与显微镜以国际标准C型接口的方式连接。

2.9.10控制和图像处理软件:搭配一体化分析控制软件,软件可控制显微镜所有电动部件和摄像头,并显示和记录设备所有参数。CCD控制,图像实时传输、采集,大图拼接,景深叠加,AVI动态流拍摄,长度测量,物镜定标,电子标尺,报告模板等功能。

3.附件、备件、特殊工具和消耗品

提供两年以上的备品备件(包括各种保险丝、密封圈、各种光缆、专用工具、样品托、金属抛光膏、导电胶带及预对中灯丝20支)

4.安装服务

4.1安装、调试

厂家免费负责仪器的安装、调试,验收合格。

4.2安装验收合格后,厂家提供一年的免费服务

4.3厂家在中国设有专门的应用中心,3个以上固定维修站,并配有专业维修工程师,保证提供及时优质的售后服务,并提供操作人员的免费培训。

1

二、项目预算及最高限价

项目预算金额:人民币170万元。

三、合格供应商的资格条件

1.满足《中华人民共和国政府环亚国际娱乐登录真人平台法》第二十二条规定;

1)具有独立承担民事责任的能力;

2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;

5)参加政府环亚国际娱乐登录真人平台活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录。

2.本项目的特定资格要求:进口产品代理商必须提供货物制造商的授权。

3.本项目不接受联合体投标。

  

辽宁汇诚工程管理咨询有限公司

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